儀器校準儀器直線度誤差應如何避免

儀器校準儀器直線度誤差應如何避免
儀器校準儀器直線度誤差是當坐標測量機沿著某一軸運動時,其實際運動軌跡可能偏離直線在另外兩軸的軸向產生的直線度偏移,一共有6項。
需要指出的是直線度誤差不同于導軌的直線度誤差,它是由導軌系統的綜合作用而產生的。
此外,沿著不同的直線測量時,測得的直線度誤差值不同。通常,直線度誤差和定位誤差沿著同一直線測量。
儀器校準三坐標測量機各個運動部件直線度誤差主要由導軌的加工誤差引起的,隨著位置變化的系統誤差占主要成分,但導軌系統中摩擦變化、滾動體的位置變化、氣浮導軌中氣隙變化、油膜厚度變化等也會引起隨機誤差。
直線度誤差可用平尺、電感測微儀進行測量,也可用雙頻激光干涉儀直接測量。

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