計量校準光柵
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計量校準光柵
光柵是一種在基體上刻制有等間距均勻分布條紋的光學元件，用于位移計測量的光柵稱為計量光柵。計量校正光柵具有較高的分辨率<=1um)，測量范圍大（幾乎不受限制），動態范圍寬，容易實現數字化儀器校準測量和自動控制等特點，在數控機床和精密測量中有著廣泛的應用。但它對使用環境要求較高，在工業現場使用時要求密封和防止油污、灰塵、鐵屑等。在工業控制系統中使用的計量光柵又以透射式光柵為多，圖6-14所示為透射式光柵的示意圖。
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