儀器校準絲杠動態測量儀

儀器校準絲杠動態測量儀如圖10 -29所示。基于絲杠螺旋線生成的原理，以激光波長作為長度計量標準，圓光柵作為角度計量標準，He - Ne激光的光波波長作為測量座沿絲杠軸向移動的長度計量標準，由穩頻器來保持激光器的工作波長穩定。儀器尾部的干涉箱為長度測量的干涉測量系統。儀器頭部的主軸箱中，有圓光柵盤和定位測頭、無級調速控制器和傳動裝置。測量時，被測絲杠串在儀器主軸上，儀器主軸上的圓光柵給出與絲杠同步轉動的角位移莫爾條紋數。此時，絲杠轉動帶動測量座作軸向位移，當被測絲杠轉動一周，圓光柵也轉一周，測量座上測量棱鏡位移一個螺距。通過測量座上測量棱鏡位移，由干涉箱給出位移的干涉條紋。測量時被測絲杠是連續轉動的，圓光柵和激光干涉儀連續給出莫爾條紋和干涉條紋，這兩信號經過接受、放大、整形與分頻后進行相位比較，絲杠的螺旋線誤差就是這兩信號的相位差。