ADXL345晶圓部為多晶硅表面微加工結構加速計，多晶硅彈簧懸掛于晶圓表面的結構之上，在有加速度時提供力量阻力。它通過內部的差分電容對結構偏轉進行測量，差分電容包括獨立固定板和活動質量連接板，加速度使慣性質量偏轉、差分電容失衡，從而傳感器輸出的幅度與加速度成正比。ADXL345的工作流程為：首先由3軸敏感單元感應3個方向的加速度，然后通過電子感應器件將感應到的加速度量轉化成模擬量，模擬量經ADC轉換為數字量后進行數字濾波并存儲在FIFO中，等待主設備通過控制和中斷邏輯從串行I/O口讀加速度的值。  

儀器校驗系統設計與實現 3.1硬件電路設計  基于三軸加速度傳感器的振動檢測設備由按鍵模塊、加速度傳感器模塊、RS232接口電路、報警電路模塊、繼電器控制 模塊和LCD顯示模塊等幾部分構成。系統結構框圖如圖1所 示，其中單片機為系統控制核心，采用華邦W78E052，它大支持40MHz時鐘，供電電壓范圍寬（2.4V~5.5V），內部包 含2個外部中斷、3個定時計數中斷和看門狗計時器，用在本 系統中具有相當高的性價比。工作時系統以50Hz的速率不斷 地采集三軸方向的加速度信號，并通過LCD將數據顯示出來。同時也可以通過串口將數據傳輸到上位機。  三軸加速度模塊電路的電源退耦和旁路設計很重要，如圖2所示，在VDD I/O和電源間放置一只0.1μF電容且盡可能地靠近VDD I/O，可用來消除電源電壓波動產生的噪聲。

另外需在VS處加上電源旁路設計，采用一只10Ω的電阻和10μF的電容進行旁路連接。  將第7腳片選引腳拉高至VDD I/O時 ADXL345處于 I2C通訊模式，以I2C模式工 作要將ATL ADDRESS引腳接地。為了保證正確操作，需在SCL和SDA引腳加上拉電阻，上拉電阻的范圍可 在2K~10K之間[2]。需特殊說明的是，如果還有其他器 件連接到I2C總線時，這些器件的額定工作電壓電平不 要高于VDDI/O 0.3V以上。

將SCL、SDA、INT1引腳分 別與W78E052的P1.1、P1.2和INT1引腳相連接，此時ADXL345的I2 C通訊地址為0x53，當FIFO中的數 據滿后，ADXL345會提供中斷信號給單片機，這時單 片機可以通過I2C讀取FIFO中的數據。  ADXL345是一款高靈敏度3軸加速度傳感器，它 在PCB上的安裝和PCB板固定都有一定的要求。因為PCB板的諧振程度會影響加速度的計量，儀器維修如果將傳感器安裝在PCB上一些沒有硬支撐的位置，會導致明顯的測量錯誤[3-4]。