什么是電感式測微儀,它又有哪些技術指標

計量校準電感式測微儀是描述物體機械運動狀態的位移、速度、力、振動等物理量通 常成為機械量，對這些物理量的檢測通常采用相應的傳感器進行，如位移傳感器、速度傳感器、加速傳感器和振動傳感等。

在機械量檢測中，對位移、速度和里的檢測是常見的。

電感式測微儀能快速準確測量微小尺寸變量，適 用于自動化測量或實驗室內高精度對比測量，能夠 完成各種精密測量。

電感式測微儀也還檢查工件的厚度、內徑、外徑、橢圓度、平行度、直線度、徑向跳動等，被廣泛應用于精密機械制造業、晶體管和集成電路制造業以及國防、科研、計量部門的精密長度測量。

目前，國內常用的電感測微儀有指針式和數字式兩種，存在的問題較多，如高精度測量范圍小，零位調節不方便、功能單一和通用性差等。

它通過編制軟件實現儀表的高精度、智能化、多功能化，計量校準經過反復的實驗與使用，已證明其精度高、操作方便、性能穩定。

技術指標：

⑴測量范圍：0~±30μm檔及0~±500μm檔；

⑵示值誤差：0~土30μm檔為0.1μm，0~±500μm檔為1μm；

⑶分辨率：0~±30μm檔為0.01μm，0~±500m檔為0.1μm.

⑷極性：當測量值為負時，自動顯示"-"；為正時，無極性符號。