光干涉儀器使用前的調整

使用計量檢測前的調整

干涉顯微鏡調整的主要目的，是使目鏡視場中呈現反映被測表面粗糙度的清晰干涉條紋，以便測量。

各種類型的儀器使用調整不盡相同，詳細參看相應的使用說明書．外校計量下面以常用的雙光束干涉顯微鏡為例，介紹調整步驟：

(1)調節光源，使目鏡視場照明均勻。調整目鏡視度，使視場中分劃板刻線清晰。

(2)將被測表面置于物鏡的上方。儀器校驗用遮光板擋住參考鏡一路的光束，對被測件表面調焦'直至視場中出現清晰的加工紋路的顯微圖像。

(3)將遮光板從參考光路中移開，長度計量校準實驗室視場中應出現干涉條紋。若不出現干涉條紋，儀器檢測檢定一般是由于參考鏡光路未調好'造成兩路光的光程不相等，應對參考光路的物鏡調焦。

(4)檢測調整干涉條紋的方向，使其與被測表面加工紋路垂直，并調整干涉條紋的寬度以5mm～lOmm為宜。