干涉法測量Rz長度參數(shù)

干涉法測量Rz長度參數(shù)
(1)確定取樣長度干涉顯微鏡的視場范圍各類型之間有所不同,一般為0.25mm或0.32mmo當(dāng)被測表面Rz值≥0.025pLm-,0.5PLm時,取樣長度為0.08mm或0.25mm.儀器校正測量可在一個視場內(nèi)測量當(dāng)尺z值≥0.51um-0.8rum時,計量外校時,取樣長度為0.8mm,需要移動工作臺,在3個連續(xù)的視場里測量。
(2)確定評定長度評定長度應(yīng)包含5個連續(xù)的取樣長度,可視被測表面的情況測多于5個或少于5個取樣長度。
計量校準(zhǔn)每一取樣長度內(nèi)測算出一個Rz值,外校檢測儀器時再取平均值作為該評定長度內(nèi)的Rz值。

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